愛(ài)德華EPX180L半導體真空泵維修保養

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保

護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。

IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。

應用:

EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過(guò)制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

功能和優(yōu)勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級

道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。

的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進(jìn)氣口壓力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承底油

脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非?？煽縀PX 基于經(jīng)過(guò)現場(chǎng)驗證的 IPX 技術(shù)，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長(cháng)了

泵的使用壽命。

可兼容的網(wǎng)絡(luò ) - EPX 系列配有終用戶(hù)控制，可以連接到各種結構的網(wǎng)絡(luò )，以進(jìn)行診斷監視和控制。

愛(ài)德華真空泵是半導體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中*的部分，應用于日益多范圍化的工業(yè)過(guò)

程，包括電力、玻璃和其他涂層應用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué)；適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應用。

東莞比其爾真空泵保養維修：為客戶(hù)提供長(cháng)期真空泵技術(shù)咨詢(xún)與指導，綜合維修保養、部件維修保養、預防性維修保養、

現場(chǎng)服務(wù)等售后服務(wù)項目。擁有專(zhuān)業(yè)的進(jìn)口真空泵維修車(chē)間，配件充足/維修速度快/提供備用機/

延長(cháng)質(zhì)保.

服務(wù)細節:您一旦下訂單，我們將會(huì )與您商定安裝日期。我們提供的系統調試步驟包括：正確組裝，全盤(pán)考慮所有必要的

技術(shù)性能檢測（若適用）的管道連接根據現場(chǎng)供應情況安裝電氣設備（包括傳感器和控制系統集成（若有））正確加滿(mǎn)潤

滑油（如有需要）試運行，檢查并記錄輸出數據為操作人員提供系統操作培訓:指導檢測：公司擁有進(jìn)口檢測設備與專(zhuān)業(yè)技

術(shù)，提供質(zhì)量穩定，確保維修過(guò)后達到的真空度和穩定性能，確?？蛻?hù)生產(chǎn)安全無(wú)憂(yōu)。我們的真空可以根據您在真空泵中

的需求，提供準確、全面和快速的響應和支持。

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