干式螺桿真空泵工作原理及結構圖

干式螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產(chǎn)生吸氣和排氣作用的一種真空抽

氣設備。干式螺桿真空泵工作原理是：利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸左螺桿與右螺

桿做高速轉動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成多個(gè)級，氣體在相等的各

個(gè)槽內進(jìn)行傳輸運動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構對氣體有壓縮作用，終形成真空。

一、干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)

干式螺桿真空泵在工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運轉相對平穩，噪音比較低，工作腔不需潤滑油，因

此，干式螺桿真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空度更高，消耗功率

比較低，具有節能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。它是油封式真空泵的升級版產(chǎn)品。

二、干式螺桿真空泵工作原理

干式螺桿真空泵工作原理主要是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作

高速轉動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋槳螺旋槽分割成多個(gè)空間、形成多個(gè)級，氣體在相等的各個(gè)槽

內進(jìn)行傳輸運動(dòng)，無(wú)壓縮，只有螺桿末端的螺旋結構才對氣體有壓縮的作用。螺桿的各級間可形成

壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比，各部間隙和泵轉速對泵的性能有很大影響。在設計螺桿各部的

間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境等。干式螺桿真空泵與羅茨真空泵一樣不設排氣

閥。

三、干式螺桿真空泵結構原理

干式螺桿真空泵是立式結構，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機和潤滑油池。螺桿轉子呈中

空形，為懸臂支承結構。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過(guò)聯(lián)軸節與主動(dòng)轉子連接，該

泵的氣體路徑較短，且立式結構對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。

干式螺桿真空泵選用適當的較簡(jiǎn)單螺桿牙型截面，那么它的優(yōu)勢是則制造簡(jiǎn)單，可保證很高的加工精

度，且容易動(dòng)平衡。根據其工作原理，我們可以可以明確地認識到，干式螺桿真空泵是一種極限真空

度高、消耗功率比較低、節能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。